序号 | 现象/问题 | 故障原因 | 解决意见 |
1 | 110泵的电机定子在什么使用条件下会频繁损坏？ | 1.过热 2.过载 | 1.检查冷却系 2.检查真空系统 |
2 | 用户处出现碎泵，经我们检查，发现泵内又大块的碎玻璃，用户问有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ | 1. 防护网破裂 2. 前级管道破裂 | 优化系统设计 |
3 | 分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？ | 1.附近有光照或其他热源 | 避免光照或热源 |
4 | 正常使用中，3500分子泵油池为何会变形或者碎裂？ | 1. 冷却不良 2. 负载太大 | 检查冷却系统 检查真空系统 |
5 | 系统无漏、真空计、规管都无问题的情况下，为什么真空度只能抽到-1或-2帕？ | 1. 系统设计不合理 2. 系统内放气量太大 | 优化系统设计 |
6 | 分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？ | 1.冷却不良 2.负载太大 | 检查冷却系统 检查真空系统 |
7 | 3500泵为何不能吊装？其他泵是否也有不能吊装的要求？ | 自身太重，其他泵可以吊装 | 加支撑 |
8 | 胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？ | 不作特殊限定，至少3个， 按照法兰大小可选3、6、12、24等 |
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9 | 用户处出现碎泵，我们给出结论为用户使用不当，但用户反问，此系统为国外设计，并使用多年，一直未出现故障，为何刚刚换上我们的分子泵，就出现碎泵？ | 1. 偶然现象，没有代表性 2. 分体转子抗冲击性稍差 | 避免大气冲击 |
10 | 分子泵电源的输入电压为220V，且在厂进行过调试，为何还会发生反转现象？ | 1.电缆接错 | 调换电缆的线序或更换电缆 |
11 | 用户发现分子泵油变少，再加油后没几天，油再次变少，分子泵返厂后，经检查，前级口和分子泵内均未发现有油，请问分子泵油到哪去了？为什么会出现此现象？ | 这种现象目前无法解释，再遇到后再研究吧 |
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12 | 分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ | 负载太大，系统真空度不够 | 检查系统 |
13 | 分子泵正常运转过程中，可充入的最大气载为多少？充入-1Pa的氩气是否可以？如可以，为何充气后发生分子泵自动停机，且无法再次启动的现象？而分子泵取下，用手拨动叶片后，又可再次启动，充气后现象重复。 | 这取决于充气的时间，不能一概而论，所描述的情况是分子泵的热保护器作用。 |
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14 | 分子泵前级真空可以抽到10Pa以下，但是分子泵，只能启动到60Hz左右，之后回0重启，反复后报E014故障，而分子泵未卡死或碎泵，请问分子泵为何无法启动到正常 | 1. 市网电压低 2. 电缆过长 3. 分子泵负载大 | 1. 用调压器 2. 尽可能缩短电缆 3. 检查系统 |
15 | 轴承为什么会烧毁 | 1. 缺乏定期维护 2. 冷却不良导致过热 3. 没有及时换油 4. 抽除的气体中含有大量粉尘 | 1及时维护 2.检查冷却系 3.及时换油 4.隔离粉尘 |
16 | 变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ | 1. 电压不稳 2. 强干扰 3. 高压打火 4. 认为解密 |
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17 | 正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形 | 1. 过热 2. 负载大 | 1. 检查冷却系 2. 检查系统 |
18 | 110A电源报“3412”故障是什么意思？是否能现场解决？ | 干扰造成乱码 | 关机后重启动 |
19 | 为什么110分子泵用110A电源可以启动，但是用110电源就无法启动？ | 霍尔坏一个 | 返厂维修 |
20 | 变频器电源空载无问题，带泵就会报警时什么问题？为什么更换变频器后，在我公司带泵无问题，而到用户处就继续报警？前提是分子泵完好。 | 需要看故障码，并到现场查看 |
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21 | 变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？ | 电压低 |
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22 | 分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？ | 小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境 |
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23 | 分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？ | 注意水温和水流量，详见说明书，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。 |
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24 | 真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？ | 1.油池破裂或密封不良 | 检查油池 |
25 | 具体什么情况下会造成分子泵碎泵？除了这些情况外是否不会造成碎泵？ | 1. 异物掉入 2. 负载太大 3. 冷却不良 4. 前级压力高 | 1. 做好屏蔽 2. 检查系统 3. 检查冷却系 4. 检查前级及管道 |
26 | 分子泵横装是否会降低使用寿命？ | 理论上不会 |
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27 | 分子泵是否可以自行进行保养？如可以需怎样保养？返厂进行保养的最佳周期是多长时间？ | 不可以，平时注意查看分子泵的运行状态，发现噪声增大或震动加大应立即返厂 |
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28 | 分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是最佳方式？ | 电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。 |
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29 | 分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ | 应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 | 加强装配过程管理 |
30 | 用户放映分子泵油的量过少，请问将我公司提供的100ml分子泵油完全加入是否是正常油量？即加这些油是否会对分子泵的正常使用产生负面影响？ | 以后不存在此问题 |
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