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干泵/干式涡旋泵

Varian 公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速,低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势,是众多应用领域的理想前级真空获得产品。

型号 IDP-2 IDP-3 SH-110 TriScroll 300 · TriScroll 600
抽速(l/min) 30 50 90 210 420
极限真空(mbar) 0.1 0.33 6.6 x 10-2 1.3 x 10-2 9.3 x 10-3
冷却方式 风冷 风冷 风冷 风冷 风冷
体积(mm3   351x181x140 384 x 240 x 276 437 x340 x325 471 x355 x343
重量(Kg) 9.5 9.5 19 26.4 32

IDP-2、IDP-3 干泵是Varian 公司最新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵,能够适合非常广泛的应用需要。IDP-2 是世界上最小的涡旋泵,用于各种粗真空获得应用,重量仅有9.5Kg,能够轻而易举地集成到各种实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr(约33Pa)极限压强,使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。

干泵产品特点:

◆  全无油泵,不会污染真空系统
◆  采用独立马达与轴承的密封设计
◆  体积小巧:351x181x140mm
◆  与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强
◆  无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆  低噪声,低振动
Varian SH-110全密封干式涡旋泵具有业内领先的真空获得性能,结构紧凑,能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下),可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空,即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

干泵性能特点:

◆  工作状态下泵体发热低
◆  马达功率不到200瓦,低功耗
◆  内置出气阀门有效降低工作噪声
◆  出气口位置可以动,以便更好地适应空间要求
◆  高压区间抽速高,确保迅速进入真空状态
◆   重量轻,配有把手,易于携带
◆  内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全
◆   配有自动气镇阀以有效排空水蒸气
◆  维护简便,只需定期更换密封圈即可
TriScroll 300干泵 是Varian公司生产的一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明,Varian 独有的专利TriScroll 300 设计具有很高的可靠性和耐用性,产品性能稳定,性价比非常突出。

干泵技术特点:

◆  独有的TriScrollTM专业结构设计
◆  具有轴承吹扫功能,保护轴承不被工艺气体或粉尘污染
◆  高可靠性
◆  具有自动气镇口

TriScroll 600干泵 是Varian 公司生产的一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。多年的实际应用证明,Varian独有的专利TriScroll设计具有很高的可靠性和耐用性,产品性能稳定,性价比非常突出。

主要干泵型号: IDP-2干泵IDP-3干泵SH-110干泵TriScroll 300干泵、 TriScroll 600干泵

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