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分子泵/ Varian的分子泵


Varian的分子泵几乎涵盖了所有可能的应用领域,特有的机电一体化的设计,具有前级耐压高的特性,适用于10-10-10毫巴的真空环境。Varian的分子泵主要具有以下显著优点:

1. 丰富的产品范围:覆盖所有可能的应用及市场各个层面。

2. MacroTorr专利技术:抽气量最大化;将前级耐压能力提升到18 bar;压缩比提高数个数量级。

3. 整体加工的转子:每个转子都用单独一块铝合金加工而成,重量最小化;分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整,降低了作用在材料和轴承上的压力。

4. 高可靠性,免维护的陶瓷轴承:无油,无污染;平均无故障时间大大增加。

内置控制器可用采用导航控制:简单并节省空间的配置;导航软件可以轻松地进行远程控制和监控。

分子泵
Varian分子泵的产品型号:

产品型号 V81M分子泵 V81T分子泵 V301分子泵 V551分子泵 V701分子泵 V1001分子泵
转速 rpm 80000 80000 56000 42000 42000 38000
进气口法兰 40/63 40/63 100/160 100/160 200 160/200/250
出气口法兰 16 16 16 25 25 40
抽速L/s N 2 50/77 50/77 250/280 350/550 690 790/950/1050
压缩比 N 2 5× 108 7× 108 7×108 > 1× 109 1× 109 1× 109
极限压强 mbar 5×10-10 5×10-9 <5×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10
启动时间 min < 1 < 1 2.5 < 5 < 5 < 4
电源 220V 220V 220V 220V 220V 220V
   

Varian的分子泵其他特色说明:

    Turbo-V 2K-G是一款专为针对工业应用溅射镀膜领域特别设计开发的分子泵。其各抽气级甚至整个泵的结构,都是以能在较高氩气负载和温度条件下保持最佳抽气性能为目标来优化设计的,它的电路系统具有更多附加特性。

    ● Varian分子泵独特的拖动级设计
      拖动级由一体化的两层盘片组成,这样的设计大大提高了散热效率,因而最大程度地降低了泵高速运转时的内部温度。确保了在高压强下对氩气抽气时仍保持大抽气量。

    ● Varian分子泵内置的充气及放气装置
      充气及放气阀集成于泵内,充气保护及放气过程的控制由内部电路 驱动完成,不再需要任何部件置于泵体外部。

    ● Varian分子泵内置的检测系统
      TV-2KG配备了特别的温度控制系统,使其能够实时监控泵的气载,功率,及冷却水温度,确保了材料负荷及轴承负荷在安全范围内工作。

    ● Varian分子泵内置型具有防水性能的电路系统
      TV-2KG所有的电路系统,都置于泵的底壳内,具有防水特性,符合IP54规范。

    ● Varian分子泵一体化机型
      分子泵集成了驱动电源,气体保护配置,模拟I/O信号 RS232接口。

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