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分子泵/ Varian的分子泵


Agilent TwisTorr  高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动级技术能提高小分子气体(如氢气和氦气)压缩比,从而实现大抽气量和城耐受高前级压力,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证最佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,最大程度减少系统停机时间,并能确保长时间稳定性。泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

  • 创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比,而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统体积。
  • 耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。
  • 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动,低噪音,最佳的轴承工作条件,延长泵的使用寿命,实现使用维护成本优化,最大程度减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。
  • 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。
  • 铜制水冷通道(可选) — 可避免腐蚀,优化热传递性能,降低用水量和使用维护成本。
  • 涡轮分子泵应用范例








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