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冷凝泵/低温泵


    低温泵(冷凝泵)是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵(冷凝泵)是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
 
    SHI APD公司的Marathon® CP系列低温泵(冷凝泵)专门设计用于高真空系统。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势,被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域,如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。
 
 
      
 
  CP-8
低温泵
CP-8LP
低温泵
CP-250LP
低温泵
CP-12
低温泵
CP-16
低温泵
CP-20
低温泵
SICERA 8"
低温泵
SICERA 12"
低温泵

抽速
(升/秒)

空气 1500 1800 3060 3600 4800 9700 1500 3300
水蒸汽 4200 4200 6300 9860 17,300 29,100 4000 9500
氩气 1250 1500 2500 3100 4100 8300 1200 2700
氢气 2300 3000 5000 7300 12,000 14,000 2200 6000
吞吐量 氩气(托-升/秒) 11 11 11 12.6 11.4 1.3 8.9 8.9
氩气 870 870 870 1000 900 900 700 700
(sccm)                
吸附能力(标升) 氩气@ 1200 1600 1600 3100 5500 6000 1000 2000
1 x 10-6 托                
氢气@ 25 25 25 50 50 33 12 30
5 x 10-6托                
Crossover (托-升) 220 220 220 650 500 400 150 150
降温时间 (分钟) 75 110 110 90 135 190 120 150
接口法兰 ANSI 6" 6" N/A 10" N/A 20" N/A N/A
ISO 200 mm 200 mm 250 mm 320 mm 400 mm 500 mm N/A N/A
Metal Seal (Conflat) 10" 10" N/A N/A N/A N/A 253 mm  
CVC N/A N/A N/A 10" 10" N/A N/A N/A

 
实物照片,应用于加速器系统中

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