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离子泵/VARIAN离子泵

    VARIAN公司是世界上屈指可数的能够提供高品质离子泵的公司之一,可满足客户对超高和极高真空的要求,用户可从根据自己的功率、工作压强、待抽气体成分以及系统中超高真空获得设备的启动压强等的要求,来选择泵、电源、配件及附件,进而获得完美的超高真空解决方案。
VARIAN离子泵主要具有以下特点:
(1) 系列产品由多种离子泵、电源、选配件及附件组成,能够为所有超高真空应用提供完美的解决方案,极限压强可达10-11mbar,清洁、无油、无噪声
(2)Varian离子泵能完美解决真空系统对工作压强、待抽气体的组成成分以及系统中超高真空获得设备的启动压强等的要求。
(3)Varian离子泵 系列产品包括 Diode(二极型)、Noble Diode(惰性二极型)以及StarCell(专利的三极型)三种不同类型的离子泵,同时还提供包括Mimi Vac、Dual 和 Midi Vac 三种离子泵电源,用户可从中选择所需功率要求和接口标准的产品。

VARIAN离子泵主要应用领域包括:
  • 电子扫描显微镜
  • 高能物理
  • 质谱分析
  • 半导体
  • 真空电子管
离子泵
离子泵型号 Vaclon plus 20 Vaclon plus 40 Vaclon plus 55 Vaclon plus 75 Vaclon plus 150 Vaclon plus 300 Vaclon plus 500
进气口 CF35 CF35 CF63 CF100 CF100 CF150 CF150
类型 StarCell StarCell StarCell StarCell StarCell StarCell StarCell
抽速l/s(N2 20 34 50 65 125 240 410
寿命 hour 80000 80000 80000 80000 80000 80000 80000
最大启动压强 mbar < 10 -2 < 10 -2 < 10 -2 < 10 -2 < 10 -2 < 10 -2 < 10 -2
烘烤温度℃ < 350 < 350 < 350 < 350 < 350 < 350 < 350

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