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三维磁场探针台
北京东方晨景科技有限公司提供的三维磁场探针台，采用无磁材料制成，三对类亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间三维磁场，线圈采用水冷结构，并且配备有线圈过热保护装置，可以长时间稳定工作。通过软件或者电源前面板控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
三维磁场探针台和东方晨景自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成.
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探针台
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参数
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X轴线圈外径
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640mm
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Y轴线圈外径
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470mm
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Z轴线圈外径
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260mm
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X轴线圈间距
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240mm
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Y轴线圈间距
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126mm
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Z轴线圈间距
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100mm
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X轴线圈电流
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≤14A
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Y轴线圈电流
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≤14A
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Z轴线圈电流
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≤14A
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X轴中心最大磁场
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≥300Gs
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Y轴中心最大磁场
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≥300Gs
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Z轴中心最大磁场
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≥300Gs
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X轴均匀度（Φ20球体）
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0.1%
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Y轴均匀度（Φ20球体）
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0.07%
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Z轴均匀度（Φ20球体）
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0.5%
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线圈冷却形式
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水冷
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线圈工作温度
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＜60℃
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总重量
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约330㎏
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样品台
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参数
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样品台直径
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最大102mm(可更换)
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X方向行程
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±51mm
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Y方向行程
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±51mm
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旋转角度
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360°
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旋转精度
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0.1°
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材料
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无磁
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探针座
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参数
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X向行程
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±6mm
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Y向行程
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±6mm
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Z向行程
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±6mm
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分辨率
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20μm
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三围尺寸
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38W*62D*54H
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重量
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200克
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注：探针座可选
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探针
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参数
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长度
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38mm
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直径
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0.51mm
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针尖直径
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10μm
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材料
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钨
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注：探针可选
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显微镜
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参数
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成像元件
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CMOS
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成像原件像素
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1000万
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有效像素
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1280*1024
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连续变倍
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6X-600X
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视场范围
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3.5mm-35mm
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调焦范围
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65mm
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镜头直径
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50mm
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最小分辨率
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1微米
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十字光标
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4组
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输出视频
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VGA
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显示器
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19寸LCD
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注：显微镜可选
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