安捷伦（原Varian）公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势，是众多应用领域的理想前级真空获得产品。

IDP-3 系列干泵是安捷伦公司推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合非常广泛的应用需要。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。

SH-110全密封干式涡旋泵具有业内先进的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。

TriScroll 300 是一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明，安捷伦的TriScroll 300 设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。

TriScroll 600 是一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品，具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。多年的实际应用证明,Varian的TriScroll设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。

产品特点：

◆  全无油泵，不会污染真空系统

◆  采用独立马达与轴承的密封设计

◆  体积小巧：351x181x140mm

◆  与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强

◆  无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆  低噪声，低振动

性能特点

◆  工作状态下泵体发热低

◆  马达功率不到200瓦，低功耗

◆  内置出气阀门有效降低工作噪声

◆  出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求

◆  高压区间抽速高，确保迅速进入真空状态

◆  重量轻，配有把手，易于携带

◆  内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全

◆  配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

◆  维护简便，只需定期更换密封圈即可

技术特点

◆  独有的TriScrollTM专业结构设计

◆  具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染

◆  高可靠性

◆  具有自动气镇口