油扩散泵是获得高真空的主要设备，被广泛用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟试验和对油污染不敏感的真空系统中。安捷伦公司（原Varian）作为全世界范围内领先的扩散泵供应商，为客户提供口径从2英寸到35英寸范围内各种扩散泵，是美国唯一的一个全系列的扩散泵供应商。产品具有大抽速，高排气量等特点。 适用于真空度在10-1~10-8mbar之间。
特点：
◆ 大抽速、大抽气量
◆ 抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
◆ 高前级耐压
◆ 高极限真空度
◆ 返油量极低
◆ 超常的使用寿命
扩散泵（AX,HS,VHS,NHS型号）参数对照
| 型号 | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 |
| 抽速空气(L/s) | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 |
| 推荐前级泵抽速(m3/hr) | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 |
| 标准冷带 | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 |
| 启动时间（min） | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 |
| 功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 |
| 冷却水(l/hr,15-26℃) | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 |
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| 型号 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 |
| 抽速空气(L/s) | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 |
| 推荐前级泵抽速(m3/hr) | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 |
| 标准冷带 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1.5×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 |
| 启动时间（min） | 15 | 30 | 45 | 60 |
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| 功率 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 24000 | 24000 |
| 冷却水(l/hr,15-26℃) | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |