液氮探针台LNPS-80可以对器件进行非破坏性的测试,器件的最大尺寸可达到80mm。可以对材料或器件的电学特性、光电特性等效应进行测量,为DC测量RF测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在探针台上进行测量的比较典型的材料。探针台系统的探针、测试电缆、样品台都有多种类型可供选择,从而满足不同用户的需要。
LNPS-80的温度变化范围从80K到425K,系统需要使用液氮实现变温,防热辐射屏大大降低了黑体辐射,提高了制冷效率,减少了液氮消耗。样品台上装有温度传感器和加热器,实现样品台快速变温以及精准控温。
液氮探针台LNPS-80具有四个可以进行微调的探针臂,每个探针臂上的探针都可以进行三维方向上的精准定位。探针采用铍或者钨制成,针尖直径10微米,减少探针对样品的热传导。每个探针臂都采用304优质不锈钢加G10制作而成,每个探针臂都进行有效的热沉,减小探针臂漏热进而减少探针对样品的漏热。
为了提高系统的实用性和操作性,系统配备了高放大倍数的显微镜。
LNPS-80降温曲线
LNPS-80控温曲线